国家/地区 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) C23(3) C25(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C016/26(3) C01B031/04(2) C01B032/186(2)
C01B032/194(2) C23C014/24(2) C23C014/30(2)
C23C014/34(2) C23C016/06(2) C23C016/455(2)
C25D005/54(2) H01L021/02(2) H01L021/283(2)
发明人 ZARETSKI A(3)
公开年
申请年 2016(2) 
专利权人 UNIV CALIFOR.(3)