国家/地区 | 日本(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)![]() |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
C23C016/01(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 |
2011(3)![]() |
专利权人 |
INOUE T, INOUE M, TAMARU H, TSUJIMOTO H, MINAMI N
HASEGAWA MASATAKA, ISHIHARA MASATOU, KOGA YOSHINORI, KIM JAEHO, TSUGAWA KAZUO, IIJIMA SUMIO, HASEGAWA M, ISHIHARA M, KOGA Y, KIM J, TSUGAWA K, IIJIMA S, YOSHINORI K, HO K J, KAZUO T, SUMIO I, MASATAKA H, MASATOU I, JAEHO K