国家/地区 |
德国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)
C01(4)
C23(4)
B82(3) H01(3) H05(2) |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(4)![]() |
申请年 | 2013(3) |
专利权人 | INT BUSINESS.(2) |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S