国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C23C026/00(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
JANSSON U, TIDEN S, TAHER M, DIAZ L, REMONEN T, JANSSEN U
VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S, BOEHM H L M, BOEHM H, VAN DER WEIJDE D, BOHM H L M, BOHM S
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y