国家/地区 | 中国(2) 美国(2) |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 | C01(2) C23(2) |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC |
C23C016/26(2)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 |
2013(2)![]() |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H