国家/地区 |
中国(2)![]() |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 |
C01(2)![]() |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC | C23C016/26(2) |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 |
2013(2)![]() |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H