国家/地区 日本(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC B82Y030/00(3) C01B031/02(3) B82Y040/00(2)
C23C016/26(2) C23C028/00(2)
发明人
公开年 2015(2)
申请年 2014(2) 
专利权人

KAZUOMI S, KAZUHIRO T, YASUHIRO Y, MAYUMI K, RYOTA Y, SATO K, TOKUNAGA K, YUZUHARA Y, KOSAKA M, YUGE R

KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M