| 国家/地区 | 美国(3) |
| IPC部 |
C(5)
H(4)
B(2)
G(2) |
| IPC大类 |
C01(5)
|
| IPC小类 |
C01B(5)
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| IPC |
C23C016/27(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(5) |
| 申请年 | 2020(3) 2021(2) |
| 专利权人 |
KOVI K K, SCHIRMANN E, KHAN A
POLUSHIN N I, MASLOV A L, LAPTEV A I
