国家/地区 | 美国(3) |
IPC部 |
C(5)
H(4)
B(2)
G(2) |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/27(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2020(3) 2021(2) |
专利权人 |
KOVI K K, SCHIRMANN E, KHAN A
POLUSHIN N I, MASLOV A L, LAPTEV A I