国家/地区 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 韩国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人 JEON S(3) LEE J(2) OH S(2)
公开年 2012(5)
申请年 2011(3)  2012(2) 
专利权人 KOREA ADV IN.(2) KOREA ADVANC.(2)