国家/地区 | 日本(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C23C026/00(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(3)![]() |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 |
OKIKAWA Y, YAMADA T, HASEGAWA M
YOO H, KIM J, BAEK J, BYEON C, YOO H J, SU K J, BAEK J H, BYEON C S, BAI J, LIU H
JANSSON U, TIDEN S, TAHER M, DIAZ L, REMONEN T, JANSSEN U