国家/地区 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 B82(2)
IPC小类 B82Y(2)
IPC B82Y030/00(2) C01B031/02(2) C01B031/04(2)
H01L031/0224(2) H01L031/042(2) H01L051/44(2)
发明人
公开年 2011(2)
申请年
专利权人