国家/地区 美国(3)
IPC部 C(5) H(4) B(2)
G(2)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/27(5)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2020(3)  2021(2) 
专利权人

POLUSHIN N I, MASLOV A L, LAPTEV A I