国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4) B(3) H(3)
IPC大类 C01(4) B82(3) C07(3)
H01(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/04(4)
发明人 NOMOTO K(2) YUGAWA M(2) YUKAWA M(2)
公开年 2013(4)
申请年 2012(2)  2013(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)