国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5) B(2) H(2)
IPC大类 C03(5)
IPC小类 C03B(5)
IPC C23C016/26(3) C01B031/02(2) C23C028/00(2)
H01L021/20(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人