国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
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IPC大类 |
C03(4)
C01(2)
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H01(2) |
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IPC |
C01B031/02(2)
C23C016/26(2)
H01L021/20(2)
|
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
KIRKMAN T, PICKLES J, GRAFF S, FLYNN R L
LEE H K, KIM S, KANG B H, SHIM G I, KANGBYOUNGHUN, LEE H, SHIM G, JIANG B, JIN C