国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C03(4) C01(2) C23(2)
H01(2)
IPC小类 C03B(4)
IPC C01B031/02(2) C23C016/26(2) H01L021/20(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人