国家/地区 | 世界知识产权组织(4) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
H01L021/02(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) |
申请年 | |
专利权人 |
ZERGIOTI I, PAPAZOGLOU S, ZACHARATOS F, LOGOTHETI A, PESQUERA A, ZURUTUZA A, NAVEH D
HODGE S A, GALHENA D T L, GALHENA D T L G
SHERWOOD G J, NELSON J T, SU Q, BUHLMANN P P J, ZHEN X, KOESTER S J
PAWLOSKI A R, BENNETT G S, CERNOHOUS J J, KASKE K, SZYMANSKI A E