国家/地区 | 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
C09(3)![]() |
IPC小类 |
C09D(3)![]() |
IPC |
C23C018/12(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S, BOEHM H L M, BOEHM H, VAN DER WEIJDE D, BOHM H L M, BOHM S
PAWLOSKI A R, BENNETT G S, CERNOHOUS J J, KASKE K, SZYMANSKI A E