国家/地区 | 韩国(3) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C09(3)![]() |
IPC小类 |
C09D(3)![]() |
IPC |
C09D001/00(3)
C09D005/00(3)
C09D007/12(3)
C23C016/26(3) C23C016/44(3) H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
发明人 |
HWANG J H(3)
JEON M H(3)
HO C H(2)
YOO Y Z(2) |
公开年 | 2017(3) |
申请年 | 2016(3) |
专利权人 |
UNIV INJE IND ACADEMIC COOP FOUND(3)![]() |
JEON M H, HO C H, YOO Y Z, HWANG J H
JEON M H, HO C H, YOO Y Z, HWANG J H