国家/地区 | 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
SA G, CHEN L, LIANG T, DENG Y, SAGAR R U R
ZENASNI A, CORAUX J, IVANOVAHRISTOVA V, LANDIS S, PERNEL C