| 国家/地区 | 中国(2) 日本(2) 美国(2) |
| IPC部 | C(2) |
| IPC大类 | C23(2) C25(2) |
| IPC小类 |
C23C(2)
|
| IPC |
C23C016/04(2)
|
| 发明人 | |
| 公开年 |
2021(2)
|
| 申请年 | |
| 专利权人 |
KUBO T, SEKI K, OKADA M, HATAKEYAMA K, KOGA K, SHIMIZU T, YE N, KAWAI H, KAWAI Y, GUAN H
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
