国家/地区 美国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3) C25(3) H01(3)
B05(2) C01(2)
IPC小类 B82Y(3)
IPC B05D005/12(2) B82Y030/00(2) C01B031/02(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2011(3)
申请年 2011(2) 
专利权人