国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C25(4)
IPC小类 C25D(4)
IPC C30B029/02(4) C01B031/04(3) C01B031/02(2)
C23C016/26(2) C23C028/00(2) C25D003/38(2)
C25D005/50(2) C30B025/18(2) C30B033/00(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人