国家/地区 台湾(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 C23(3) C25(3) H01(3)
B05(2) B32(2) B82(2)
C01(2)
IPC小类 C23C(3)
IPC H01L021/02(3)
发明人
公开年
申请年
专利权人