| 国家/地区 |
美国(2)
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| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 | C23(2) C25(2) |
| IPC小类 |
C23C(2)
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| IPC |
C23C018/16(2)
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| 发明人 | JANG B Z(2) ZHAMU A(2) |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 | NANOTEK INST.(2) |
