国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C01B032/194(2) C23C016/26(2) C23C028/00(2)
发明人
公开年 2017(3)
申请年 2015(2) 
专利权人