国家/地区 中国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C23（2） C30（2）
IPC小类 C23C（2）
IPC C23C016/02（2）
发明人
公开年 2022（2）
申请年 2021（2）
专利权人

Tantalum carbide-coated carbon material for e.g., LED manufacturing equipment, comprises a carbon substrate, and a tantalum carbide coating layer formed on the carbon substrate.

JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W

Preparation of gallium nitride epitaxial structure by providing a silicon carbide substrate, pre-processing, growing a graphene film, growing diamond film, growing aluminum nitride polycrystalline film, and annealing.

PAN Y, FENG H, TANG J