| 国家/地区 | |
| IPC部 |
B(3)
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| IPC大类 |
C23(3)
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| IPC小类 |
C23C(3)
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| IPC | C30B025/18(2) C30B029/02(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2022(2) |
| 申请年 |
2022(3)
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| 专利权人 |
CHEN Y, YE W, SUN Q, LONG X
KIM D J, HONG B H, WOO Y S, KIM D, YU Y S
DASH J K, ABZAL S M, KALYAN K, JANGA S L
