国家/地区 美国(3)
IPC部 F(3) C(2) H(2)
IPC大类 F27(3)
IPC小类 F27D(3)
IPC H01L031/0224(2) H01L031/042(2)
发明人
公开年 2011(2)
申请年 2010(2) 
专利权人