| 国家/地区 | 中国(2) 美国(2) |
| IPC部 |
B(2)
C(2)
G(2)
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| IPC大类 |
B32(2)
|
| IPC小类 |
B32B(2)
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| IPC | C23C016/26(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 |
2013(2)
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| 专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
