国家/地区 韩国(5) 美国(4) 世界知识产权组织(3)
IPC部 B(5)
IPC大类 H01(5) B82(4) C01(4)
B01(2) B05(2) B32(2)
C23(2)
IPC小类 H01B(5)
IPC C01B031/02(4) H01B001/04(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) B05D005/12(2) B32B009/00(2)
C01B031/04(2) C23C016/26(2) H01L031/042(2)
发明人 KIM S O(2) LEE D H(2)
公开年 2011(2)
申请年 2010(2)  2011(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(5)