国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 | H01(5) C23(3) |
IPC小类 |
H01J(5)![]() |
IPC | C23C016/26(3) H01J009/02(3) |
发明人 | |
公开年 |
2022(5)![]() |
申请年 |
2021(5)![]() |
专利权人 |
ZHANG X, LEI W, ZHAO Z, ZHAO N
TSUYOSHI I, HARUYASU A, KEI O, KEIICHI N, TAKAYUKI K, FUMIAKI M, JUNSO F, SHOTA K, KUMANO S, FUJITA J, MAKINO F, KATO T, NAMBA K, OHKUBO K, ASAHARA H, INOUE G
LIU H, GUAN L, WANG B, ZHANG W, XIONG Y
QIN C, LI T, WANG Q, LOU H, SHI L, LUO L, HUANG S