国家/地区 世界知识产权组织(3) 印度(2) 美国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B032/194(4) B82Y040/00(3) H01L029/16(3)
C01B032/186(2) H01L029/66(2)
发明人
公开年 2022(4)
申请年 2022(4)
专利权人