国家/地区 美国(2)
IPC部 B(2) C(2) H(2)
IPC大类 B82(2)
IPC小类 B82Y(2)
IPC B82Y040/00(2) C01B032/186(2) C01B032/194(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2)
发明人
公开年 2022(2)
申请年 2022(2)
专利权人