国家/地区 世界知识产权组织(3)
IPC部 B(3) C(3) H(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3)
IPC B82Y040/00(3) C01B032/194(3) H01L029/16(3)
C01B032/186(2) H01L029/66(2)
发明人
公开年 2022(3)
申请年 2022(3)
专利权人