| 国家/地区 |
中国(4)
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| IPC部 |
B(4)
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| IPC大类 |
B32(4)
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| IPC小类 |
B32B(4)
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| IPC |
C23C016/26(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2012(2) |
| 申请年 | 2011(2) |
| 专利权人 |
JOHNSON B Y, LIU X, MAZUMDER P
JIANG K, LIN X, XIAO L, FAN S, IM H Y, FAN F Y
