国家/地区 中国(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 B82(2)
IPC小类 B82Y(2)
IPC B82Y030/00(2) C23C016/30(2) H01J001/304(2)
发明人 LI Z(2)
公开年 2016(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 UNIV QINGDAO.(2)