国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 H01(5) C01(4)
IPC小类 H01J(5)
IPC H01J037/26(4) H01J037/20(3) C01B032/182(2)
C01B032/194(2)
发明人 GUO C(2) LIU N(2) LU Y(2)
NI X(2) WANG H(2)
公开年 2022(5)
申请年 2022(5)
专利权人 SHUIMU BEIJI.(2) UNIV TSINGHU.(2)