| 国家/地区 |
德国(4)
|
| IPC部 |
B(4)
C(4)
H(4)
|
| IPC大类 |
B32(4)
C01(4)
C23(4)
B82(3) H01(3) H05(2) |
| IPC小类 |
B32B(4)
C01B(4)
C23C(4)
B82Y(3) H01B(2) H01L(2) H05K(2) |
| IPC |
C23C016/26(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2013(4)
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| 申请年 | 2013(3) |
| 专利权人 | INT BUSINESS.(2) |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
