国家/地区 |
德国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)
C(4)
H(3)
|
IPC大类 |
B32(5)![]() |
IPC小类 |
B32B(5)
H01L(3)
C01B(2)
|
IPC |
B32B009/00(3)
H01L021/04(2)
H01L029/16(2)
H01L029/78(2) |
发明人 | |
公开年 |
2012(5)![]() |
申请年 | 2011(4) |
专利权人 | INT BUSINESS.(2) |
CHO H C, LEE S H, LEE D S, KANG K H, CHEOL C H, HUN L S, SU L D, HO G G, KANG K, LEE D, LEE S, CHO H
AVOURIS P, NEUMAYER D, ZHU W, NEUMAYER D A