| 国家/地区 |
美国(3)
|
| IPC部 |
B(3)
|
| IPC大类 |
C23(3)
|
| IPC小类 |
C23C(3)
|
| IPC |
C23C016/26(3)
C01B031/04(2)
C23C014/34(2)
H01L021/02(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2016(3)
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| 申请年 | 2016(2) |
| 专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J
