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关键词 HELIUM ION MICROSCOPE(2)
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机构
作者 MURUGANATHAN M(2)

MICROMACHINES

LIU FY, WANG ZW, NAKANAO S, OGAWA S, MORITA Y, SCHMIDT M, HAQUE M, MURUGANATHAN M, MIZUTA H

NANOTECHNOLOGY

ZHOU YB, MAGUIRE P, JADWISZCZAK J, MURUGANATHAN M, MIZUTA H, ZHANG HZ