国家/地区
关键词 NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS NEMS(2)
出版物
出版时间 2013(2)
机构
作者

PROCEEDINGS OF THE IEEE

CHEN CY, HONE J

NANO LETTERS

SMITH AD, NIKLAUS F, PAUSSA A, VAZIRI S, FISCHER AC, STERNER M, FORSBERG F, DELIN A, ESSENI D, PALESTRI P, OSTLING M, LEMME MC