国家/地区
关键词 PHOTOLITHOGRAPHY(3)
出版物
出版时间 2018(3)
机构
作者

IEEE SENSORS JOURNAL

HINNEMO M, MAKARAVICIUTE A, AHLBERG P, OLSSON J, ZHANG Z, ZHANG SL, ZHANG ZB

NANOSCIENCE NANOTECHNOLOGY LETTERS

PARK S, SHEHZAD MA, CHOI W, KWON YH, EOM J, SEO Y

ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES

JIANG HB, LIU YQ, ZHANG YL, LIU Y, FU XY, HAN DD, SONG YY, REN LQ, SUN HB