| 国家/地区 | Canada（2） |
| 关键词 |
PLASMA ETCHING（3）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2020（3）
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| 机构 | MCMASTER UNI.（2） |
| 作者 |
FANCHINI G（2）
HILKE M（2）
HUI LS（2）
MUNIR M（2）
TURAK A（2） VUONG A（2） WONG V（2） |
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
HUI LS, MUNIR M, VUONG A, HILKE M, WONG V, FANCHINI G, SCHARBER MC, SARICIFTCI NS, TURAK A
ARABIAN JOURNAL FOR SCIENCE ENGINEERING
DUAN Y, YANG L, GAO JY, GUO SH, HOU M, HU T, QIU JJ
ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE TECHNOLOGY
HUI LS, MUNIR M, WHITEWAY E, VUONG A, HILKE M, WONG V, FANCHINI G, TURAK A