国家/地区 Japan(4)
关键词 CHEMICAL VAPOR DEPO.(2)
出版物
出版时间
机构 CHUBU UNIV(2)
作者 NODA M(4)

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

MATSUSHIMA M, NODA M, YOSHIDA T, KATO H, KALITA G, KIZUKI T, UCHIDA H, UMENO M, WAKITA K

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

MATSUSHIMA M, NODA M, KALITA G, UCHIDA H, WAKITA K, UMENO M

ASIAPACIFIC JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING

YOSHIHARA N, TAHARA Y, NODA M