| 国家/地区 | Japan（3） |
| 关键词 | HELIUM ION BEAM MIL.（2） |
| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 |
JAPAN ADV INST SCI TECHNOL（3）
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| 作者 |
OGAWA S（3）
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MICROMACHINES
LIU FY, WANG ZW, NAKANAO S, OGAWA S, MORITA Y, SCHMIDT M, HAQUE M, MURUGANATHAN M, MIZUTA H
SMALL
SCHMIDT ME, MURUGANATHAN M, KANZAKI T, IWASAKI T, HAMMAM AMM, SUZUKI S, OGAWA S, MIZUTA H
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
SCHMIDT ME, IWASAKI T, MURUGANATHAN M, HAQUE M, VAN NGOC H, OGAWA S, MIZUTA H