国家/地区 | Russia(2) |
关键词 | |
出版物 | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2) |
出版时间 | 2017(2) |
机构 | |
作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
KATKOV VL, OSIPOV VA
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
AFANAS EV VP, BOCHAROV GS, ELETSKII AV, RIDZEL OY, KAPLYA PS, KOPPEN M