国家/地区 韩国(4) 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 中国(2) 印度(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82Y(4) C01B(4) B01J(2)
B05D(2) C23C(2) H01L(2)
IPC B82Y030/00(4)
发明人
公开年 2010(2) 2011(2)
申请年 2010(4)
专利权人