国家/地区 韩国(25) 世界知识产权组织(5) 美国(4)
IPC部 C(20) B(16) H(15)
G(3)
IPC大类 C01(17) H01(15) B01(9)
B82(7) C23(5) G01(3)
B32(2) C08(2)
IPC小类 C01B(17) B01J(9) H01L(8)
H01B(7) B82Y(5) C23C(5)
B82B(4) G01N(3) H01G(3)
B32B(2) C08J(2) H01J(2)
IPC C01B031/02(17) H01B001/04(6) C23C016/26(5)
B01J019/08(4) B82B003/00(4) B01J019/12(3)
B82Y040/00(3) H01L021/336(3) H01L029/78(3)
B01J019/10(2) B82Y030/00(2) H01G009/042(2)
H01J049/26(2) H01L021/268(2) H01L021/331(2)
发明人 CHOI I S(5) LEE K J(5) FEI L(3)
KIM S O(3) LEE K(3) MIN D H(3)
SEO T S(3) CHOI I(2) CHOI S Y(2)
HONG B H(2) HONG S(2) HWANG J O(2)
KIM Y K(2) LEE D H(2) LEE J E(2)
公开年 2013(16) 2012(8)
申请年 2011(25)
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(25)